يُعد مسحوق كربيد السيليكون الأخضر (SiC) مادةً أساسيةً في تلميع رقائق أشباه الموصلات. ويُستخدم على نطاق واسع في عمليات التلميع الدقيقة بفضل صلابته العالية واستقراره الكيميائي والحراري الممتاز.
1. خصائص كربيد السيليكون الأخضر
—صلابة عالية (صلابة موس 9.2): تأتي في المرتبة الثانية بعد الماس ونتريد البورون المكعب، وهي مناسبة لمعالجة المواد الصلبة (مثل السيليكون، رقائق كربيد السيليكون).
—الخمول الكيميائي: لا يتفاعل مع الأحماض والقلويات في درجة حرارة الغرفة لتجنب تلوث سطح الرقاقة.
—الاستقرار الحراري: يمكنه الحفاظ على الأداء في درجات الحرارة العالية، وهو مناسب للتلميع عالي السرعة.
–شكل الجسيمات الحاد: يوفر قدرة قطع فعالة، ولكن يجب التحكم في توحيد الجسيمات لتجنب الخدوش.
| التحليل الكيميائي النموذجي | |
| كربيد السيليكون | ≥99.05% |
| ثاني أكسيد السيليكون | ≤0.20% |
| ف، سي | ≤0.03% |
| Fe2O3 | ≤0.10% |
| نادي كرة القدم | ≤0.04% |
| الخصائص الفيزيائية النموذجية | |
| صلابة: | موس: 9.5 |
| نقطة الانصهار: | يتسامى عند 2600 درجة مئوية |
| أقصى درجة حرارة للخدمة: | 1900 درجة مئوية |
| الثقل النوعي: | 3.20-3.25 جم/سم3 |
| الكثافة الظاهرية (LPD): | 1.2-1.6 جم/سم3 |
| لون: | أخضر |
| شكل الجسيم: | سداسي |
2. التطبيق في تلميع أشباه الموصلات
—مرحلة التلميع الخشنة: تستخدم لإزالة العيوب الأكبر أو آثار المعالجة على سطح الرقاقة (مثل الطبقات التالفة بعد التقطيع والطحن).
—تلميع رقاقة كربيد السيليكون (SiC): يتطابق كربيد السيليكون الأخضر مع صلابة مواد رقاقة SiC لتقليل تلف السطح.
—التطبيقات المساعدة: تستخدم لتلميع المواد الصلبة والهشة مثل ركائز الياقوت والزجاج البصري.
3. متطلبات الجودة الرئيسية
— توزيع حجم الجسيمات: يجب أن يكون موحدًا للغاية (مثل D50 1–5μm) لتجنب الخدوش الناتجة عن الجسيمات الكبيرة.
—النقاء: نقاء عالي (≥99.9%) لتقليل التلوث بالشوائب المعدنية (مثل Fe وAl).
—شكل الجسيمات: يجب أن تكون كروية أو متساوية المساحة لتقليل خشونة السطح.
—التعليق: تشتت مستقر في سائل التلميع لمنع الترسيب.
المراجعات
لا توجد مراجعات بعد.