مقدمة عن كربيد السيليكون الأخضر:
كربيد السيليكون الأخضر ( SiC الأخضر ، صيغته الكيميائية SiC ) مادة كاشطة بلورية اصطناعية عالية النقاء، معروفة بصلابتها الفائقة وحوافها القاطعة الحادة وثباتها الكيميائي والحراري الممتاز. وهو أجود أنواع مواد كربيد السيليكون، ويُطلق عليه غالبًا اسم “الماس الأخضر” للمواد الكاشطة الصناعية.
| ملكية | كربيد السيليكون الأخضر |
|---|---|
| الصيغة الكيميائية | كربيد السيليكون |
| نقاء | 98.5–99.5% SiC (درجة عالية ≥99.9%) |
| صلابة موس | 9.2–9.5 (قريب من مستوى الألماس) |
| الصلابة المجهرية | 3200–3600 كجم/مم² |
| كثافة | 3.22 جم/سم³ |
| الموصلية الحرارية | 80-140 واط/م·ك (تبديد حرارة ممتاز) |
| التمدد الحراري | قليل |
| نقطة الانصهار | حوالي 2700 درجة مئوية |
| الثبات الكيميائي | خامل تجاه الماء والأحماض والقلويات ومعظم المذيبات |
| شكل الجسيم | حادة، ذات شكل مكعب، متعددة الأوجه؛ جيدة في شحذ نفسها ذاتياً |
مزايا كربيد السيليكون الأخضر في صقل الرقائق
- صلابة فائقة وأداء قطع ممتازيتميز كربيد السيليكون الأخضر بصلابة تتراوح بين 9.2 و9.5 على مقياس موس، مما يجعله أصلب بكثير من السيليكون أحادي البلورة. كما يتميز بحواف جسيمات حادة وقدرة فائقة على الشحذ الذاتي، مما يوفر معدل إزالة مواد عالياً لإزالة علامات السطح والطبقات التالفة على الرقائق بكفاءة.
- حجم جسيمات موحد وجودة سطح ممتازةيتميز المسحوق الناعم المصنف بدقة بتوزيع ضيق لحجم الجزيئات وانخفاض التكتل. ينتج خدوشًا دقيقة وضحلة بدلاً من الجروح العميقة أو التشققات أو الحفر، مما يتحكم بفعالية في تلف الطبقة السطحية ويضمن نتائج تلميع متسقة.
- استقرار كيميائي وحراري ممتازيتميز هذا المنتج بخموله الكيميائي تجاه الماء، ومواد التلميع الشائعة، والإضافات الحمضية/القلوية، مما يجعله غير قابل للتآكل في رقائق السيليكون. كما يحافظ على صلابة ثابتة وشكل حبيباته تحت تأثير الحرارة الاحتكاكية، وتعمل موصليته الحرارية الجيدة على تبديد الحرارة بسرعة لتجنب تشوه الرقائق حرارياً.
- نقاء عالٍ لتطبيقات أشباه الموصلاتيحتوي على نسبة أقل من المعادن الثقيلة والشوائب مقارنةً بكربيد السيليكون الأسود. ولا يسبب أي تلوث كهربائي، مما يجعله يلبي تمامًا متطلبات النقاء العالي لإنتاج رقائق أشباه الموصلات والخلايا الكهروضوئية.
- مقاومة جيدة للتآكل وفعالية من حيث التكلفةيساهم انخفاض معدل التآكل في إطالة عمر الخدمة. وهو أكثر فعالية من حيث التكلفة بكثير من مسحوق الماس مع الحفاظ على أداء صقل موثوق، مما يجعله مثالياً للإنتاج بكميات كبيرة. كما أن المسحوق يمتزج جيداً في الملاط، مما يقلل من عدد مرات استبدال السائل.
- صلابة متوسطةيمنع التوازن بين الهشاشة والمتانة تراكم كميات كبيرة من الحطام الدقيق على أسطح الرقاقات، مما يُسهّل عمليات التنظيف اللاحقة. وهو متوافق مع مختلف وسادات ومعدات التجليخ للتجليخ أحادي/ثنائي الجانب، وشطف الحواف، وغيرها من العمليات.