يُعد كربيد السيليكون الأخضر مادة كاشطة رئيسية في عملية صقل الرقائق. فهو يجمع بين كفاءة معالجة عالية، وتلف سطحي منخفض، وأداء مستقر، وتكلفة منخفضة للغاية، ويستخدم على نطاق واسع في صقل وتلميع رقائق السيليكون الكهروضوئية وأشباه الموصلات.

يتميز مسحوق كربيد السيليكون الأخضر بصلابة عالية، وحجم جسيمات متجانس، وثبات كيميائي ممتاز. يوفر كفاءة تلميع عالية، وسطح رقاقة فائق النعومة، وتلفًا طفيفًا تحت السطح، مما يجعله مادة كاشطة مثالية لتلميع رقائق السيليكون.

امزج مسحوق GC عالي النقاء مع الماء منزوع الأيونات أو سائل PEG الحامل لتكوين معجون تلميع معلق. تحت الضغط بين لوحة التلميع ورقاقة السيليكون، تتدحرج جزيئات GC وتقطع سطح السيليكون بدقة متناهية لإزالة النتوءات غير المستوية بالتساوي، مما يحقق تسوية دون إتلاف عميق للشبكة البلورية.

مزايا مسحوق السيليكون كاربايد الأسود الدقيق مسحوق كربيد السيليكون الأسود الدقيق (α-SiC، SiC ≥98.5%) هو مسحوق بلوري أسود سداسي الشكل ناعم (0.5-60 ميكرومتر). بالمقارنة مع كربيد السيليكون الأخضر والألومينا المنصهرة وغيرها من المواد الكاشطة، فإنه يتمتع بخصائص فائقة شاملة: أداء ميكانيكي ممتاز في مقاومة الكشط صلابة فائقة : صلابة موس 9.15-9.2، حواف قطع أكثر حدة

كربيد السيليكون الأسود (Black SiC, BSiC) هو مادة صناعية عالية الأداء تستخدم على نطاق واسع في علم المعادن لصلابتها العالية، ونقطة انصهارها العالية، ومقاومتها الممتازة للتآكل، ومقاومتها للتآكل، واستقرارها في درجات الحرارة العالية.

كربيد السيليكون الأخضر (يُكتب أيضًا Green SiC) هو مادة كاشطة اصطناعية عالية النقاء تُنتج عن طريق صهر رمل الكوارتز عالي الجودة وفحم الكوك البترولي والملح الصناعي في فرن كهربائي بدرجة حرارة عالية. يظهر على شكل مسحوق بلوري أخضر أو ​​كتلة ذات جزيئات حادة وزاوية.